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微电子工业超纯水设备基本工艺流程

文章出处:EDI水处理编辑:EDI水处理发表时间:2016-05-24 09:47:09

  微电子工业超纯水设备是微电子工业的重要设备之一,通常由钠离子过滤器、活性炭过滤器、精密过滤器等组成,为微电子工业提供所需的合格水质。

超纯水设备

  微电子工业超纯水设备工艺流程

  1、采用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方式,其基本工艺流程为:

  原水→沙炭过滤器→精密过滤器→阳床→阴床→混床(复床)→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点

  2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方式,其基本工艺流程为:

  原水→沙炭过滤器→精密过滤器→反渗透设备→纯水箱→混床(复床)→超纯水箱→超纯水泵→后置精密过滤器→用水点

  3、采用反渗透水处理设备与电去离子(EDI)设备进行搭配的方式,这是一种制取超纯水的新工艺,也是一种环保,经济,发展潜力巨大的超纯水制备工艺,其基本工艺流程为:

  原水→沙炭过滤器→精密过滤器→反渗透设备→纯水箱→电去离子(EDI)→超纯水箱→超纯水泵→后置精密过滤器→用水点

超纯水设备

  微电子工业超纯水设备特点

  1、连续运行,产品水水质稳定。

  2、容易实现全自动控制。

  3、无须用酸碱再生。

  4、不会因再生而停机。

  5、节省了再生用水及再生污水处理设施。

  6、产水率高(可达95%)。

  7、无须酸碱储备和酸碱稀释运送设施。

  8、占地面积小。

  9、使用安全可靠,避免工人接触酸碱。

  10、降低运行及维护成本。

  11、设备单元模块化,可灵活的组合各种流量的净水设施。

  12、安装简单、费用低廉。

超纯水设备

  微电子工业超纯水设备水质标准

  我企业电子级超纯水设备出水水质完全符合美国ASTM纯水水质标准、我国电子工业部电子级水质技术标准(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五级标准)、我国电子工业部高纯水水质试行标准、美国半导体工业用纯水指标、日本集成电路水质标准、国内外大规模集成电路水质标准。

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